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特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。

特種氣體管道

氣體滲透性：

氣體從壓力(或分壓力)高的一側透過材料向壓力(或分壓力)低的一側流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。 因為空氣中氧氣和氮氣分壓力1大、氣體分子相對較小，管道材料對氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮氣的滲透 ， 一般對氧氣的滲透測試比較多。

特氣管道試壓

　　1、管道試壓前應全1面檢查、核對已安裝的管子、管件、閥門、緊固件以及支架等，質量應符合設計要求及技術規(guī)范的規(guī)定。

　　2、管道試壓應編制試驗方案，根據(jù)工作壓力分系統(tǒng)進行試壓。一般對于同向大氣的無壓管線，如放空管、排液管等可不進行試壓。

特種氣體的運輸

算出運輸量

關于高壓氣體的運輸規(guī)則，高純度特種氣體供應商，根據(jù)其運輸量而有所不同。其運輸量，可用如下方法算出。

(1)運輸量的計算

  運輸量的計算是用一個容器的氣體充填量乘上車上裝載的容器個數(shù)。

  容器的充填量，壓縮氣體用米3表示，液化氣體用公斤表示。

壓縮氣體 容器內容積(升)×充填壓力(公斤／厘米2 )/1000=米3

  液化氣體 容器的充填質量(公斤)。

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